C-SAM全稱C-mode Scanning Acoustic Microscope，指超聲波顯微鏡。因為利用純水當介質傳輸超聲波信號時，超聲波能在非拆除狀態下檢測到不同物質不同狀態下的不同密度，返回不同的反射回波，從而知道材料內部的缺陷（例如脫層、氣孔、縫隙等）并依所接收的信號變化將之成像。這使得超聲波顯微鏡可以用于材料科學、半導體行業、生物學、晶圓鍵合缺陷檢測等領域，給傳統的精細結構觀察帶來了全新的無損檢測方法。下面介紹下其各個行業的具體應用：

1. 材料科學檢測：例如當工業產品遇到未知原因的殘品時，超聲波顯微鏡可以盡快有效且無損地找到其內部的氣孔、縫隙等瑕疵。

2. 半導體行業檢測：半導體的成品由于工藝復雜，一個成品上有許多半導體零件，而只要有其中一個或幾個零件有損壞，就不能合格。想知道是哪個零件的問題，就選要用超聲波顯微鏡觀察，這樣就只需要更換壞了的零件即可，不用全部返工。

3. 生物學檢測：醫院的超聲波檢測等。

4. 晶圓鍵合缺陷檢測：在半導體晶圓制作中，拉單晶、切片、磨片、拋光、增層、光刻、摻雜、熱處理、針測以及劃片……一系列過程中，化學氣相沉淀、光學顯影、化學機械研磨都是這一過程中可能使晶圓表面產生缺陷。這些缺陷往往都可以通過超聲波顯微鏡檢測出來。

這樣看來，C-SAM超聲波顯微鏡檢測，確實應用廣泛而且能在無損地檢測出物質的缺陷問題，在很多行業都有著重要作用。如果您也在相關行業有檢測需求，歡迎聯系我們。我們作為德國超聲波掃描顯微鏡 ( SAM /SAT ) 之中國區代理，在本行業擁有著先進的科學技術和踏實的科學素養，能為您的行業質量保駕護航。