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超聲掃描顯微鏡的功能特點是什么?

Date: 2023-03-07
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對于顯微鏡大家肯定都不陌生,過去大都顯微鏡都停留在光學領(lǐng)域,隨著技術(shù)的不斷進步,聲學的顯微鏡開始出現(xiàn),而且得到了很廣發(fā)的應用。超聲波掃描顯微鏡就是采用了聲學原理,它不僅能夠?qū)悠芳毠?jié)放大,同時呈現(xiàn)出來的視覺效果也更加的直觀,目前在半導體樣品檢測領(lǐng)域中發(fā)揮了很大的作用,下面就來介紹一下這種設備的功能特點。

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一、可進行無損檢測

在半導體生產(chǎn)行業(yè)中,為了確保產(chǎn)量的質(zhì)量需要嚴格做好的質(zhì)檢環(huán)節(jié),質(zhì)檢工作不僅是對產(chǎn)品表面的檢查,還涉及到了產(chǎn)品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。使用超聲掃描顯微鏡的一大好處就是可以進行無損傷檢測內(nèi)部結(jié)構(gòu),而且檢測的速度非常快,還可以根據(jù)樣品特點進行分層掃描檢測,在發(fā)現(xiàn)樣品缺陷的時候以直觀的圖像進行呈現(xiàn),便于工作人員的分析。

二、可直觀察樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)

光學顯微鏡有它的局限性,無法穿透樣品內(nèi)部進行查看,聲學顯微鏡則不同,它是依靠聲波進行掃描,從而能夠穿透到樣品的內(nèi)部,就算是非透明的物體同樣可以穿透。在掃描的過程中,會根據(jù)聲波反射來提供樣品內(nèi)部的三維圖像,就算是非常細微的瑕疵也能夠通過圖像反映出來,所以這種掃描顯微鏡的可觀察精度是非常高的。

三、觀察過程更加方便

很多人都了解光學顯微鏡,在實際操作過程中是比較麻煩的,有著較為嚴苛的使用環(huán)境要求,且只能進行局部的觀察。聲學顯微鏡則不同,它是直接通過聲波進行一定范圍的掃描,對于使用環(huán)境并沒有太嚴苛的要求,關(guān)鍵是操作起來相當方便,免去了對樣品進行切片的麻煩,整體的觀察檢測效率更高。

正是因為超生掃描顯微鏡的功能特點,使得它被廣泛的用于各種產(chǎn)品的質(zhì)檢環(huán)節(jié),在很多生產(chǎn)領(lǐng)域發(fā)揮了巨大的作用。

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