掃描顯微鏡是一款材料分析工具，主打陶瓷材料以及金屬材料領域的分析，被廣泛應用于地質石油、礦物材質、半導體電子、化工分子材料研究、生物醫學以及工農等行業。今天就為大家介紹一下掃描顯微鏡的主要用途，看看它在各行各業是如何發揮自身作用的。

掃描電子顯微鏡是由7大系統合同協作組成的，包含電子光學系統、信號探測處理和顯示系統、圖像記錄系統、樣品室、真空系統、冷卻循環水系統以及電源供給系統。掃描電鏡具備放大可調程度寬、圖像分辨率高、景像保真度高、三維效應真實等優勢，檢測的導電材料能直接放入樣品室進行分析，而導電性差或絕緣的樣品就還要噴鍍導電層。掃描顯微鏡的主要用途歸納如下：

一、掃描顯微鏡追求固體物質高分辨的形貌，形態圖像-形貌分析，包含表面幾何形態，形狀，尺寸。

二、顯示化學成分的空間變化，基于化學成分的相鑒定-化學成分像分布，微區化學成分分析。

三、利用背散射電子衍射信號對樣品物質進行晶體結構(原子在晶體中的排列方式)，晶體取向分布分析，基于晶體結構的相鑒定。

四、掃描電子顯微鏡在半導體器件研究中還有以下幾點的特殊應用。

1、利用電子束感生電流進行成像，可以用來進行集成電路中的定位和損傷研究。2、利用樣品電流成像，結果可顯示電路中金屬層的開、短路，因此電阻襯度像經常用來檢查金屬布線層、多晶連線層、金屬到硅的測試圖形和薄膜電阻的導電形式。

3、利用二次電子電位反差像，反映了樣品表面的電位，從它上面可以看出樣品表面各處電位的高低及分布情況，特別是對于器件的隱開路或隱短路部位的確定尤為方便。

從上述的用途功能總結，不難看出在科技助力產業的今天，掃描顯微鏡誠然已經逐漸陳偉現代科技檢測技術中很重要的一款工具，它能有效提升檢測的結果精度、內容和檢測速度，樣本的范圍可以從數納米到數微米，為產業數據提供保障。